氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統(tǒng)

氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統(tǒng)

LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學(xué)平臺(tái)隔振技術(shù)的一大飛躍。通常，光學(xué)平臺(tái)由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動(dòng)系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動(dòng)。

TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會(huì)放大極低頻振動(dòng)。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個(gè)集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng)，這實(shí)現(xiàn)了低頻率消振和**的高頻隔振水平。

LaserTable-Base的上部氣動(dòng)部分采用模塊化設(shè)計(jì)，可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架，具體取決于應(yīng)用要求。

規(guī)格

? 采用STACIS®技術(shù)

? 主動(dòng)慣性消振系統(tǒng)

? 消振從低于1 Hz開始

? 加長(zhǎng)行程的壓電致動(dòng)器，高達(dá)60微米。

? 6個(gè)主動(dòng)自由度

? 由兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)組成，可實(shí)現(xiàn)**隔振效果

? 采用MaxDamp®空氣隔振器

? 簡(jiǎn)單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效

? 可選的擱板，用于在工作臺(tái)下方安裝設(shè)備

? 包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器

性能

將低頻、被動(dòng)MaxDamp®空氣隔振器與壓電主動(dòng)消振系統(tǒng)串聯(lián)在一起，可得到整體傳遞率曲線，即兩條單獨(dú)傳遞率曲線的總和。由此產(chǎn)生的隔振性能非常顯著，在某些頻率范圍內(nèi)，我們受到測(cè)量?jī)x器噪聲基底的限制。并且無法測(cè)量和演示完整的隔振性能。也就是說，在10-12 Hz以上，組合系統(tǒng)的實(shí)際性能預(yù)計(jì)將超過所示性能，因?yàn)榻M合隔振理論上是兩個(gè)子系統(tǒng)所提供的隔振的總和。

氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統(tǒng) 應(yīng)用照片