主動隔振平臺系統(tǒng)

STACIS® III是一種靈活主動隔振系統(tǒng)。STACIS采用先進(jìn)的慣性振動傳感器、先進(jìn)的控制算法和壓電致動器，通過連續(xù)測量地面活動，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動器來過濾地面運(yùn)動，以實(shí)時消除振動。

STACIS**初設(shè)計用于隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中**敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

STACIS III包括一個全新的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的**控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在全球已擁有數(shù)百個成功的安裝案例，是理想的隔振系統(tǒng)，適用于對振動**為敏感的儀器。

主動隔振平臺系統(tǒng)STACIS III的優(yōu)勢

STACIS比空氣隔振器硬數(shù)百倍，沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟"懸架，與主動空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個系統(tǒng)都在**狀態(tài)下運(yùn)行。

串行設(shè)計和專有的高力壓電技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz***150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的**主動隔振性能。

主動隔振平臺系統(tǒng)STACIS III特征

? **新改進(jìn)型DC-2020數(shù)字控制器，提供易于使用的圖形用戶界面

? 隔振開始于0.6赫茲，1Hz時達(dá)到40％***70％的隔離率

? 頻率2赫茲和更高時，垂直和水平隔振率大于90％

? 降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本，即使有較大外界震動設(shè)備也可正常運(yùn)行

? 有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz

? 獲得眾多用戶的廣泛認(rèn)可和肯定

? 6向自由度硬安裝設(shè)計，無需空氣懸架

? 強(qiáng)大的控制系統(tǒng)無需定期重新校準(zhǔn)

? point-of-use設(shè)計方案，與客戶現(xiàn)有隔振系統(tǒng)無縫兼容

? 隨著外部環(huán)境改變，系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動情形

? TMC的STACIS®技術(shù)使用壓電執(zhí)行器主動消振

? 數(shù)字控制器與基于PC的圖形用戶界面（GUI）

? 提高客戶產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量、成品率。

? 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

? **寬的主動隔振帶寬，**的低頻隔振效果

? 亞赫茲的主動震動消除，**主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振

? 可堆疊式設(shè)計

? 主動硬式安裝結(jié)構(gòu)、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連

? 被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負(fù)載諧振，需要的調(diào)諧非常少，甚***無需調(diào)諧

? 由于阻抗不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器

? 負(fù)載可達(dá)2000kg

? 市場上**的主動隔振系統(tǒng)

主動隔振平臺性能

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動來測試4500磅（2045千克）有效載荷

主動隔振平臺規(guī)格

性能規(guī)格

 隔振器設(shè)計、尺寸、環(huán)境和效用要求

 DC-2020控制器規(guī)格