地面式主動隔振平臺

地面式主動隔振平臺

半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃氣管道等）和保持嚴格的清潔標準。這種地面不適用于對振動敏感的生產(chǎn)、檢測和計量設(shè)備?；顒拥孛鏌o法為這些工具提供必要的安靜振動環(huán)境。TMC的Quiet Island用一個固定在下面底層地面上的“安靜島"替換一部分活動地面區(qū)域，提供了一種創(chuàng)新的解決方案。Quiet Island包括一個兼容潔凈室的平臺頂部和一個應(yīng)用和現(xiàn)場特定的支撐結(jié)構(gòu)。

消振

Quiet Island**的主要支撐元件和核心技術(shù)都集成在STACIS III主動消振系統(tǒng)中。這種“剛性"式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以**高標準運行。STACIS III兼容自動化晶圓加工工具、高分辨率電子束成像工具、離子束銑削工具以及任何帶有被動或主動內(nèi)部隔振系統(tǒng)的工具。此外，它還提供了**寬頻率范圍內(nèi)的**隔振性能。并且“硬安裝"設(shè)計非常堅硬，因此對于較高、上重下輕的工具，不會出現(xiàn)穩(wěn)定性問題。

立管和支架

用于支撐STACIS隔振器的極其堅固耐用的立管由TMC經(jīng)驗豐富的工程團隊設(shè)計，并由我們的ISO 9001工廠按照高標準和焊接認證規(guī)格制造。每個Quiet Island都經(jīng)過精心設(shè)計，適合各種活動地面高度、底層地面幾何形狀和工具尺寸。TMC在全球安裝了數(shù)千個支撐200多種不同儀器型號的裝置，擁有豐富的知識和經(jīng)驗，可以設(shè)計滿足STACIS和您設(shè)施需求的支撐結(jié)構(gòu)。

剛性平臺

該平臺由一個經(jīng)TMC設(shè)計和制造的4英寸（100毫米）厚的鋼板夾層組成，其中鋼板夾在一種輕質(zhì)、不可壓縮、阻尼的芯材料周圍。剛性鋼板和芯用環(huán)氧樹脂粘合到一個無縫不銹鋼盤中的分層效果提供了*高的剛度和結(jié)構(gòu)阻尼。大橫截面和鋼含量產(chǎn)生了非常高的整體剛度。頂部和側(cè)面是一個連續(xù)的一體式不銹鋼外殼，以保持清潔、美觀和完整性。TMC可根據(jù)需要設(shè)計和制造特定于應(yīng)用的平臺，包括切口、特殊形狀、固定孔和吊環(huán)螺栓。

地面式主動隔振平臺

Quiet Island的優(yōu)勢

采用STACIS - TMC業(yè)界**的主動壓電消振技術(shù)、“硬安裝"設(shè)計和始于0.6 Hz的隔振與內(nèi)置隔振器的工具兼容。

模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個平臺都根據(jù)客戶的應(yīng)用量身定做，但與混凝土平臺不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化，這些平臺可以很容易地重新進行配置。

專業(yè)知識 - TMC擁有與**的半導(dǎo)體制造商、科研機構(gòu)和超精密OEM合作的豐富經(jīng)驗。我們了解客戶及其需求。我們自己設(shè)計和制造。

性能

在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、
來自地面的VC-C輸入下測量傳遞率

其他Quiet Island配置

不具有環(huán)境振動規(guī)格的大型儀器通常需要一個與活動地面分開的剛性且穩(wěn)定的支架。剛性Quiet Island是理想的解決方案。剛性Quiet Island具有相同的高性能平臺頂部，也可為任何高度、任何底層地面幾何形狀的活動地面潔凈室以及各種工具尺寸定制設(shè)計。TMC提供一系列不同類型的支柱，以滿足各種需求，從而形成了特定于儀器和工廠的模塊化、可靈活地重新定位和升級的解決方案。

應(yīng)用照片